產品簡介
NE-PE60F真空箱式等離子清洗機通過PLC提供穩定的過程控制，設備運行的實時參數通過觸摸顯示屏直觀呈現，軟件控制系統，操作簡單，能接控制設備及設定各種清洗工藝曲線，并根據工藝不同進行設定、修改、存儲、調用；軟件自帶分析功能，能對工藝曲線進行分析。軟件控制系統自動的實時記錄清洗工藝參數及溫度曲線、時間、報警相關數據，保證產品清洗工藝的可追溯性。13.56MHz射頻電源與自動匹配系統，具有優異的穩定性與可重復性，多樣化可選氣體配置，靈活的電極結構設置與優化的氣體饋入、分布方案滿足不同類型產品的清洗工藝要求。
等離子清洗與濕法清洗工藝相比，等離子清洗不需要使用強酸、強堿等溶液，不需要后期的烘干過程，也無廢水處理的要求，是一種簡單高效、經濟環保、無二次污染的清洗方法。通過等離子清洗可以改善了材料表面的潔凈度、親水性和潤濕性，增加基材表面的極性，去除基板表面的沾污和有機物。
產品參數
| 型號 | NE-PE60F |
| 等離子頻率 | 射頻13.56MHz 自動阻抗匹配 |
| 極限真空度 | 10Pa |
| 功率 | 0-500W可調 |
| 腔體材質 | 316不銹鋼/鋁合金（可選） |
| 腔體尺寸 | 400(W)*450(D)*370(H)mm |
| 腔體容積 | 66L |
| 單層有效處理面積 | W360mm x D370mm |
| 氣路數量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等，腐蝕性氣體需提前說明 |
| 處理層數 | 6層（可定制） |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可選） |
| 電源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 905mm(L)×1070mm(W) ×1740 mm(H) |
產品應用
金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗
塑封(Molding)前的等離子清洗
改善粘接性
提升親水性
光刻膠的去除
表面粗化與微蝕
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