產品簡介
NE-PE40F是一款中小型真空等離子清洗機,廣泛應用于科研院校,企業研發單位和小批量生產打樣。等離子清洗機是一種利用等離子體去除材料表面污染物的清洗設備,設備采用PLC觸摸屏控制,電源采用自動匹配電源,通過真空泵快速產生一個1-20 Pa的真空壓強,同時根據客戶工藝要求,對真空反應腔室內通入不同的混合工藝氣體,使得通入的工藝氣體電離產生等離子體。工作過程中,等離子體中的高能粒子與表面污染物發生化學反應或物理轟擊,使污染物解離、氧化或還原,形成揮發性產物,進而達到表面污染物的清洗的效果。
NE-PE40F具有如下的優點:(1)等離子清洗機清洗效率高,應用范圍廣;(2)對清洗樣品,沒有任何外觀尺寸、材質等要求;(3)在清洗過程中,溫升比較小,基本可達到常溫處理;(4)射頻功率可無極連續可調,高效的特制電極是產生均勻等離子體的保證;(5)特有的過載、過熱和短路保護電路,可保證射頻電源的穩定和安全;(6)設備采用模塊化設計,安裝與維護都極為簡單。
產品參數
型號 | NE-PE40F |
等離子頻率 | 射頻13.56MHz |
腔體材質 | 不銹鋼/鋁合金(可選) |
真空泵 | 油泵/干泵(可選) |
極限真空度 | 1Pa |
功率 | 0-300W(可調) |
腔體尺寸 | 350(L)*405(D)*300(H)mm |
腔體容積 | 40L |
腔體有效處理面積 | 300(L)×300(D)mm |
氣路數量 | 2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等 |
極板間距 | 34mm(可調整) |
處理層數 | 4層 |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
電源 | 220V |
外形尺寸 | 685mm(L) X 830m (w) X 1450mm (H) |
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