產品簡介
NE-PE210F是一款中大型真空等離子體清洗設備，適用于大規模工業生產使用。等離子體清洗通過其中的活性離子與物體表面發生化學反應來達到清洗的目的。例如通過氧氣清潔物體表面的有機物，產生氧化反應，氧等離子體和污染物產生二氧化碳、氧化碳和水。通過氮氣電離形成的等離子體可以與部分子結構發生關鍵反應，因此它也是一種活性氣體，但與氧氣和氫氣相比，顆粒相對較重；在清洗和活化的同時，可以達到一定的轟擊和蝕刻效果，防止部分金屬表面氧化。如今，等離子清洗機廣泛用于當代半導體、電路等行業，在元件封裝前、芯片鍵合前可借助等離子清洗處理，其優點是清除效率高，不會對樣品表面造成損傷，從而提升產品的質量。
產品參數
| 型號 | NE-PE210F |
| 等離子頻率 | 射頻13.56MHz 自動阻抗匹配 |
| 極限真空度 | 10Pa |
| 功率 | 0-1000W可調 |
| 腔體材質 | 316不銹鋼/鋁合金（可選） |
| 腔體尺寸 | 600(W)*600(D)*600(H)mm |
| 腔體容積 | 210L |
| 單層有效處理面積 | W560mm x D520mm |
| 氣路數量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等，腐蝕性氣體需提前說明 |
| 極板間距 | 54mm（可調整） |
| 處理層數 | 8層（可定制） |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可選） |
| 電源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1350mm(L)×1200mm(W) ×1850 mm(H) |
產品應用
提升表面親水性
提高界面粘接性
提高材料表面能
有機物油污清洗
氧化物還原
提高印刷性能
Copyright@ 2024深圳納恩科技有限公司 All Rights Reserved|
Sitemap
| Powered by 
| 粵ICP備2022035280號www.deeptrip.com.cn | 備案號：粵ICP備2022035280號www.deeptrip.com.cn
