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等離子清洗方法用氣體作為處理介質，利用能量轉換技術以電能將氣體轉換為化學反應性和活性很高的氣體等離子體（plasma），等離子體通過化學或物理作用對固體樣品表面進行處理，引起分子結構改變，實現分子水平的玷污去除。

等離子清洗效果與清洗氣體類型有關，根據不同的待清洗材料可選用氬氣、氮氣、氧氣、氫氣或者是氬氫、氬氧等混合氣體進行短時間表面清洗。一種是激發惰性氣體產生等離子體，如氬氣、氮氣等；另一種是激發活潑氣體產生等離子體，如氫氣、氧氣等。

氬氣：

氬氣等離子清洗方式屬于一種物理清洗方式，主要利用了粒子的動能，通過物理撞擊擊碎表面高分子的鍵合，并得到微結構粗糙面。

氧氣：

氧氣等離子清洗主要是利用了化學反應的原理，利用O2進行等離子清洗的過程中，有機分子與氧離子能反應形成H2O或CO2，從而汽化，通過氧化燃燒高分子聚合物和有機物，或者形成雙鍵結構的官能團，可表面改性，整個過程中也包括一些物理過程。

氫氣：

是一種具有還原性作用的氣體，可以還原被氧化的金屬表層，并伴隨一定的物理過程，一般將其與氬氣同時使用，能夠保證更高的清洗效率和效果。

氨氣：

用氨氣等離子處理，可以使其表面連接上氨基基團。氨氣等離子體是一種能夠顯著改善表面粗糙度、提升潤濕性并增加材料表面含氮基團數量的處理方法。它被認為是等離子清洗中效果最顯著的氣體之一。然而，由于氨氣對大氣環境不友好，處理氨氣污氣給大規模工業化帶來了巨大的挑戰。

含氟氣體：

含氟氣體在經過等離子處理后，能夠在自由基上鍵合含氟官能團，從而極大地提高材料表面的疏水性能。

混合氣體：

主要指的是同時將多種氣體進行混合，利用發生的化學反應以及物理過程達到更佳的清洗效果。例如將氬氣、氫氣混合使用，先利用氬氣增強物體表面的結構活化，然后利用氫氣進行清洗，采用這種方式提升了結合的強度。

不同的工藝氣體種類所激發的等離子的性能是不同的，需要根據被清洗材料選擇不同的工藝氣體。