產品簡介
NE-PE25H是一款高配版低溫等離子體處理儀,設備采用MFC質量流量計,可以實現對工藝氣體流量的精確控制,皮拉尼高精密電阻式真空計,具有高精度的測量能力,其精度可以達到0.1%以下,能夠滿足大多數高精度實驗或工業應用的要求?。
低溫等離子體處理儀在材料加工方面應用廣泛,利用等離子體中的高能粒子與材料表面發生物理和化學反應,可以實現對材料表面進行激活、清洗、蝕刻、摻雜等工藝處理。通過等離子體處理可以顯著改善材料的表面性能,比如提高材料表面能、親水性、黏附性能等。
低溫等離子體處理是一種干式改性方法,其具有如下的優勢:(1)作為干式處理方法,可省去濕式處理中的烘干、廢液以及廢氣的處理,節省能源,并對環境和人體無害;(2)通用性和適應性強,能夠對形狀復雜的材料表面進行均勻處理;(3)操作簡單,處理時間短(幾秒到幾分鐘)且效果明顯;(4)改性效果僅發生在材料表面的薄層(幾個埃到微米級),改善材料表面性能的同時不會改變材料基體的性能。
產品參數
型號 | NE-PE25H |
等離子發生器功率 | 1000W |
等離子發生器頻率 | 40KHz |
腔體容積 | 380(W)*390(D)*170(H)mm; 25L |
腔體有效處理空間 | 332(W)×320(D)×30(H)mm |
處理層數 | 2層 |
正負極板間距 | 50mm |
腔體材質 | 316鏡面不銹鋼 |
氣體流量控制 | MFC 氣體質量流量計精確控制流量, 0-500ml/min |
真空測定系統 | 皮拉尼高精密電阻式真空計 |
工藝氣體通道 | 2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(如需接入腐蝕性氣體,需提前告知) |
外形尺寸 | 650mm(L)×649mm(W) ×666 mm(H) |
控制方式 | PLC+7寸觸摸屏 |
電源供應 | 220V |
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