產品簡介
NE-PE13F是一款高性價比的干法去膠設備，可用于尺寸8英寸及以下樣品表面的活化和清潔處理。等離子去膠的工作原理是將覆有光刻膠的外延片/晶圓放置于真空反應系統中，通入少量氧氣，利用電壓放電，把氧氣（O2）電離成激發態的氧原子（O），然后氧原子和抗蝕劑中的C和H快速反應，生成CO、CO2和H2O等揮發性氣體，用真空泵抽走，以達到去膠的目的。等離子去膠不僅操作簡單、去膠效率高、去膠后晶圓表面干凈光潔而且無劃痕、成本低、環保，有利于確保產品的質量。
產品參數
| 型號 | NE-PE13F |
| 功率 | 0-300W可調 |
| 頻率 | 13.56 MHz自動阻抗匹配 |
| 腔體尺寸 | 240(L)*280(D)*200(H)mm |
| 腔體有效處理面積 | 230（L）×205（D）mm |
| 腔體容積 | 13.5L |
| 處理產品尺寸 | 可處理8寸晶圓，向下兼容6寸，4寸晶圓 |
| 腔體材質 | 316 鏡面不銹鋼 |
| 極限真空度 | 1PA |
| 氣路數量 | 3路耐腐蝕，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等 |
| 外形尺寸 | 600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) |
| 電源供應 | 220V |
產品應用
硅片清洗
晶圓去膠
有機物清洗
親水性提升
表面微刻蝕
表面活化改性
應用案例
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